Liu, Chang <br/><br/>
Foundations of MEMS / 
Chang Liu 
 - 2 ed. 
 - xiv, 562 p. :  il. ;  24 cm. 
<br/><br/>Incluye referencias bibliográficas e índice 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0132497360 (alk. paper) 9780132497367 (alk. paper) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>SISTEMAS MICROELECTROMECANICOS<br/>SISTEMAS MICROELECTROMECANICOS--MATERIALES
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.381  / L58 2012