TY  - BOOK
AU  - Liu,Chang
TI  - Foundations of MEMS
SN  - 0132497360 (alk. paper)
U1  - 621.381 
PY  - 2012///
CY  - Upper Saddle River, NJ
PB  - Prentice Hall, 
KW  - SISTEMAS MICROELECTROMECANICOS
KW  - MATERIALES
N1  - Incluye referencias bibliográficas e índice
UR  - https://www.cicy.mx/sitios/sib/doctoelectronico/9954.pdf
ER  -