000			01211nam a2200277Ia 4500
001			000003480
003			MX-MdCICY
005			20241009163211.0
008			240627s9999 xx 000 0 und d
020			_a0387168982 (U.S.)
040			_cCICY
082	0	4	_a621.38152 _bP4 1986
245	1	0	_aThe Physics and fabrication of microstructures and microdevices : _bproceedings of the winter school, Les Houches, France, March 25-April 5, 1986 / _ceditors, M.J. Kelly and C. Weisbuch
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300			_axi, 469 p. : _bil. ; _c24 cm.
490	0		_aSpringer proceedings in physics ; _v13
500			_aProceedings of the Winter School on the Physics and Fabrication of Microstructures.
504			_aIncluye referencias bibliográficas e índice
650	1	4	_aCIRCUITOS INTEGRADOS _vCONGRESOS, CONFERENCIAS, ETC.
650	1	4	_aSEMICONDUCTORES _vCONGRESOS, CONFERENCIAS, ETC.
650	1	4	_aSEMICONDUCTORES _vCONGRESOS, CONFERENCIAS, ETC. _xDISEÑO Y CONSTRUCCION
700	1	2	_aKelly, M. J., _q(Michael J.), _d1949-, _eed.
700	1	2	_aWeisbuch, C., _q(Claude), _d1945-, _eed.
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942			_2ddc _cBK
999			_c3435 _d3435