000 00826nam a2200253Ia 4500
001 000009954
003 MX-MdCICY
005 20241009164716.0
008 070518c2012-----usa######---#000-0#eng-#
020 _a0132497360 (alk. paper)
020 _a9780132497367 (alk. paper)
040 _cCICY
082 0 4 _a621.381
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100 1 _aLiu, Chang
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650 1 4 _aSISTEMAS MICROELECTROMECANICOS
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_xMATERIALES
856 4 0 _uhttps://www.cicy.mx/sitios/sib/doctoelectronico/9954.pdf
_zVer tabla de contenido y/o resumen
942 _2ddc
_cBK
999 _c9211
_d9211